Plasma-aided nanofabrication from plasma sources to nanoassembly

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Hauptverfasser: Ostrikov, Kostya (VerfasserIn), Xu, Shuyan (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinheim Wiley-VCH-Verl. 2007
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Plasma-aided nanofabrication from plasma sources to nanoassembly von Ostrikov, K.

Veröffentlicht 2007
DE-861
DE-473
URL des Erstveröffentlichers
Elektronisch E-Book