Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart [u.a.]
Hirzel
2006
|
| Schriftenreihe: | Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse
2,1 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Tags: |
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|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV022206278 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20070628 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 070102s2006 gw ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3777614432 |9 3-7776-1443-2 | ||
| 020 | |a 9783777614434 |9 978-3-7776-1443-4 | ||
| 035 | |a (OCoLC)133112672 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV022206278 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE-BW | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-29 |a DE-20 |a DE-12 |a DE-37 |a DE-1051 |a DE-859 |a DE-210 |a DE-92 |a DE-M100 | ||
| 050 | 0 | |a TK7874 | |
| 084 | |a ZN 3750 |0 (DE-625)157334: |2 rvk | ||
| 084 | |a MAS 990f |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 340f |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 270f |2 stub | ||
| 084 | |a TEC 025f |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Dötzel, Wolfram |d 1941-2023 |e Verfasser |0 (DE-588)108263193 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine |c Wolfram Dötzel |
| 264 | 1 | |a Stuttgart [u.a.] |b Hirzel |c 2006 | |
| 300 | |a 25 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse |v 2,1 | |
| 650 | 4 | |a Microelectromechanical systems | |
| 650 | 4 | |a Microelectronics | |
| 650 | 4 | |a Microtechnology | |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse |v 2,1 |w (DE-604)BV023720871 |9 2,1 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HEBIS Datenaustausch Darmstadt |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=015417662&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015417662 | |
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-TUM_call_number | 0001 2007 A 280 |
|---|---|
| DE-BY-TUM_katkey | 1578591 |
| DE-BY-TUM_location | Mag |
| DE-BY-TUM_media_number | 040006448748 |
| _version_ | 1820897839541125120 |
| adam_text | SITZUNGSBERICHTE DER SAECHSISCHEN AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN ZU LEIPZIG
* TECHNIKWISSENSCHAFTLICHE KLASSE * BAND 2 * HEFT 1 WOLFRAM DOETZEL
MIKROSYSTEMTECHNIK - WACHSTUM INS KLEINE 2K IM **** VERLAG DER
SAECHSISCHEN AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN ZU LEIPZIG - IN KOMMISSION BEI
S. HIRZEL STUTTGART/LEIPZIG 16508292 INHALT 1. EINLEITUNG 5 1.1 WAS IST
EIN MIKROSYSTEM? 5 1.2 WARUM MIKROSYSTEME? 7 2. SKALIERUNG 9 3.
KONSTRUKTIONSWERKSTOFF SILIZIUM 12 4. MIKROMECHANISCHE KOMPONENTEN 15
4.1 DAS ELEKTROSTATISCHE WANDLERPRINZIP 15 4.2 ENTWURF 19 4.3 BEISPIELE
VON SENSOREN UND AKTOREN 22 4.3.1 MIKROMECHANISCHES
VIBRATIONSSENSORARRAY 22 4.3.2 MIKROMECHANISCHES SCHRITTWERK 24 5.
LITERATUR 26
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Dötzel, Wolfram 1941-2023 |
| author_GND | (DE-588)108263193 |
| author_facet | Dötzel, Wolfram 1941-2023 |
| author_role | aut |
| author_sort | Dötzel, Wolfram 1941-2023 |
| author_variant | w d wd |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV022206278 |
| callnumber-first | T - Technology |
| callnumber-label | TK7874 |
| callnumber-raw | TK7874 |
| callnumber-search | TK7874 |
| callnumber-sort | TK 47874 |
| callnumber-subject | TK - Electrical and Nuclear Engineering |
| classification_rvk | ZN 3750 |
| classification_tum | MAS 990f ELT 340f ELT 270f TEC 025f |
| ctrlnum | (OCoLC)133112672 (DE-599)BVBBV022206278 |
| discipline | Maschinenbau / Maschinenwesen Technik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01883nam a2200457 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV022206278</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20070628 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">070102s2006 gw ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3777614432</subfield><subfield code="9">3-7776-1443-2</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783777614434</subfield><subfield code="9">978-3-7776-1443-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)133112672</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV022206278</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-BW</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-37</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-859</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-M100</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">TK7874</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3750</subfield><subfield code="0">(DE-625)157334:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MAS 990f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 340f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 270f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">TEC 025f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dötzel, Wolfram</subfield><subfield code="d">1941-2023</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)108263193</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine</subfield><subfield code="c">Wolfram Dötzel</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Stuttgart [u.a.]</subfield><subfield code="b">Hirzel</subfield><subfield code="c">2006</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">25 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse</subfield><subfield code="v">2,1</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microelectromechanical systems</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microelectronics</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microtechnology</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse</subfield><subfield code="v">2,1</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV023720871</subfield><subfield code="9">2,1</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HEBIS Datenaustausch Darmstadt</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=015417662&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015417662</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV022206278 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-23T19:54:50Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3777614432 9783777614434 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-015417662 |
| oclc_num | 133112672 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29 DE-20 DE-12 DE-37 DE-1051 DE-859 DE-210 DE-92 DE-M100 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29 DE-20 DE-12 DE-37 DE-1051 DE-859 DE-210 DE-92 DE-M100 |
| physical | 25 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 2006 |
| publishDateSearch | 2006 |
| publishDateSort | 2006 |
| publisher | Hirzel |
| record_format | marc |
| series | Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse |
| series2 | Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse |
| spellingShingle | Dötzel, Wolfram 1941-2023 Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse Microelectromechanical systems Microelectronics Microtechnology Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4221617-5 |
| title | Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine |
| title_auth | Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine |
| title_exact_search | Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine |
| title_full | Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine Wolfram Dötzel |
| title_fullStr | Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine Wolfram Dötzel |
| title_full_unstemmed | Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine Wolfram Dötzel |
| title_short | Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine |
| title_sort | mikrosystemtechnik wachstum ins kleine |
| topic | Microelectromechanical systems Microelectronics Microtechnology Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| topic_facet | Microelectromechanical systems Microelectronics Microtechnology Mikrosystemtechnik |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=015417662&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV023720871 |
| work_keys_str_mv | AT dotzelwolfram mikrosystemtechnikwachstuminskleine |