MEMS, design and fabrication

Bibliographische Detailangaben

Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Boca Raton, Fla. Taylor & Francis 2006
Schriftenreihe:	The MEMS handbook [2]
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Design and construction Microfabrication
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