MEMS, design and fabrication
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boca Raton, Fla.
Taylor & Francis
2006
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| Schriftenreihe: | The MEMS handbook
[2] |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | getr. Zählung Ill. |
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| ISBN: | 0849391385 9780849391385 |