Nanoscale calibration standards and methods dimensional and related measurements in the micro- and nanometer range
Gespeichert in:
Format: | Buch |
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Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
Weinheim
Wiley-VCH
2005
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Ausgabe: | 1. ed., 1. reprint |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | XXII, 519 S. Ill., graph. Darst. |
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ISBN: | 352740502X 9783527405022 |