Nanoscale calibration standards and methods dimensional and related measurements in the micro- and nanometer range

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Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Weinheim Wiley-VCH 2005
Ausgabe:1. ed., 1. reprint
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Beschreibung
Beschreibung:XXII, 519 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:352740502X
9783527405022