Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2005
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| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
2005,3 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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| Beschreibung: | 134 S. Ill., graph. Darst. |
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| ISBN: | 3832241647 |