Verfahren zur Bestimmung der Dotierungsdichteverteilung in Siliziumscheihen mit dem Raster-Elektronenmikroskop / Martin Weber
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1980
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Inhaltsangabe:
- [Maschineschr. vervielf.] - 1980. - [7].<br>118 S.: graph. Darst. u. Ill. ; 30 cm.<br>München, Techn. Univ., Fak. f. Elektrotechnik, Diss., 1980. - 2 Mikrofiche, 14,8 x 10.5 cm, neg.