Neue Perspektiven für die Molekularstrahlepitaxie durch Verwendung epitaktischer Schattenmasken

Neue Perspektiven für die Molekularstrahlepitaxie durch Verwendung epitaktischer Schattenmasken

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hilburger, Ulrich (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Erlangen Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Univ. 2003
Schriftenreihe:	Physik mikrostrukturierter Halbleiter 31
Schlagworte:	Molekularstrahlepitaxie Fernsehmaske Halbleiter Nanostruktur Hochschulschrift
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