Vergleichende Untersuchungen der Darstellung und Eigenschaften von superharten Nanokompositen dargestellt durch Plasma CVD und reaktive Zerstäubung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Männling, Hans-Dieter (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	2003
Schlagworte:	PECVD-Verfahren Titannitrid Nanokomposit Hartstoff Siliciumnitrid Temperaturbeständigkeit Hochschulschrift
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