Herstellung und Untersuchung von (Ba,Sr)TiO3-Dünnschichten für zukünftige hochintegrierte Halbleiterspeicher

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hornik, Karl (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	2001
Schlagworte:	Halbleiterspeicher Mischkristall Strontiumtitanat Dynamisches RAM MOCVD-Verfahren Bariumtitanat Dielektrische Schicht Dielektrische Relaxation Dünne Schicht Titanatkeramik Hochschulschrift
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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