Zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) mittels nicht-gasförmiger Quellen für elektronische Heterostruktur-Bauelemente basierend auf III-V-Halbleitern
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Erlangen
Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Univ.
2002
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| Schriftenreihe: | Physik mikrostrukturierter Halbleiter
24 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 2002 |
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| Beschreibung: | VIII, 245 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3932392353 |