Ionized physical vapor deposition

Bibliographische Detailangaben

Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	San Diego [u.a.] Acad. Press 2000
Schriftenreihe:	Thin films 27
Schlagworte:	Couches minces Revêtements Physical vapor deposition Thin film devices > Design and construction Thin films PVD-Verfahren Aufsatzsammlung
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