Interferenzkomparator zur Längenmessung mit tunnelmikroskopischen Tastern

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Harms, Christian H. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. 2000
Schriftenreihe:PTB-Bericht Abteilung Fertigungsmeßtechnik ; 42
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