Papers from the 47th international symposium of AVS 2 - 6 october 2000, Boston, Massachusetts 2
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Körperschaft: | |
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Format: | Buch |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
New York
American Inst. of Physics
2001
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Schriftenreihe: | Journal of vacuum science & technology : A
...; 19,4,2) Journal of vacuum science & technology : A ... |
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Beschreibung: | S. 1553 - 2038 Ill., graph. Darst. |
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