Encapsulated micromachined resonant force sensor
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Mikrofilm Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2000
|
| Ausgabe: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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