Cyclopentadienylsubstituierte Siliciumverbindungen Precursor zur chemischen Gasphasenabscheidung dünner Siliciumschichten
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Mikrofilm Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1999
|
| Ausgabe: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Beschreibung: | [6], 185 Bl. Ill., graph. Darst. |
|---|