Scanning probe lithography

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Soh, Hyongsok T. (VerfasserIn), Guarini, Kathryn Wilder (VerfasserIn), Quate, Calvin F. (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Boston [u.a.] Kluwer 2001
Schriftenreihe:	Microsystems
Schlagworte:	Circuits intégrés - Conception et construction Microlithographie Microscopie à sonde à balayage Integrated circuits > Design and construction Microlithography Scanning probe microscopy Lithografie > Halbleitertechnologie Rastersondenmikroskopie Hochschulschrift
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