Mikrowellenplasmastrahl zur Abscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2000
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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| Beschreibung: | V, 139 S. Ill., graph. Darst. |
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