Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Hoche, Jens (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2000
Schriftenreihe:	Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik 5
Schlagworte:	Prozessoptimierung Plasmaätzen Siliciumbauelement Mikromechanik Fotolithografie > Halbleitertechnologie Trockenätzen Hochschulschrift
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