Entwurf in der Mikrosystemtechnik

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mehner, Jan 1964- (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Dresden ; München Dresden Univ. Press 2000
Schriftenreihe:	Dresdner Beiträge zur Sensorik 9
Schlagworte:	Systementwurf Siliciumbauelement Mikrosystemtechnik Entwurf Hochschulschrift
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