Dreidimensionale analytische Simulation der Ionenimplantation
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2000
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
2000,3 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999 |
|---|---|
| Beschreibung: | XII, 189 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
| ISBN: | 3826571762 |