Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop

Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Klehn, Bernd (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Erlangen Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung 1999
Schriftenreihe:	Physik mikrostrukturierter Halbleiter 11
Schlagworte:	Rasterkraftmikroskop Lithografie > Halbleitertechnologie Nanostrukturiertes Material
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