Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Erlangen
Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung
1999
|
| Schriftenreihe: | Physik mikrostrukturierter Halbleiter
11 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV012847486 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20010717 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 991102s1999 gw ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3932392183 |c brosch. : DM 58.00 |9 3-932392-18-3 | ||
| 035 | |a (OCoLC)76055505 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV012847486 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-12 |a DE-29T | ||
| 084 | |a PHY 805d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 136d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Klehn, Bernd |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop |c Bernd Klehn. Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |
| 264 | 1 | |a Erlangen |b Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung |c 1999 | |
| 300 | |a 88 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Physik mikrostrukturierter Halbleiter |v 11 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Rasterkraftmikroskop |0 (DE-588)4333578-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Nanostrukturiertes Material |0 (DE-588)4342626-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Lithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4191584-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Nanostrukturiertes Material |0 (DE-588)4342626-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Rasterkraftmikroskop |0 (DE-588)4333578-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Physik mikrostrukturierter Halbleiter |v 11 |w (DE-604)BV011600531 |9 11 | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008742993 | |
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-TUM_call_number | 0001 99 A 1474 |
|---|---|
| DE-BY-TUM_katkey | 1111855 |
| DE-BY-TUM_location | Mag |
| DE-BY-TUM_media_number | 040003688902 |
| _version_ | 1820891994701955072 |
| any_adam_object | |
| author | Klehn, Bernd |
| author_facet | Klehn, Bernd |
| author_role | aut |
| author_sort | Klehn, Bernd |
| author_variant | b k bk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV012847486 |
| classification_tum | PHY 805d PHY 136d |
| ctrlnum | (OCoLC)76055505 (DE-599)BVBBV012847486 |
| discipline | Physik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01542nam a2200397 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV012847486</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20010717 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">991102s1999 gw ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3932392183</subfield><subfield code="c">brosch. : DM 58.00</subfield><subfield code="9">3-932392-18-3</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76055505</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV012847486</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 805d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 136d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Klehn, Bernd</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop</subfield><subfield code="c">Bernd Klehn. Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Erlangen</subfield><subfield code="b">Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung</subfield><subfield code="c">1999</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">88 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Physik mikrostrukturierter Halbleiter</subfield><subfield code="v">11</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskop</subfield><subfield code="0">(DE-588)4333578-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Nanostrukturiertes Material</subfield><subfield code="0">(DE-588)4342626-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191584-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Nanostrukturiertes Material</subfield><subfield code="0">(DE-588)4342626-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Rasterkraftmikroskop</subfield><subfield code="0">(DE-588)4333578-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Physik mikrostrukturierter Halbleiter</subfield><subfield code="v">11</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV011600531</subfield><subfield code="9">11</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008742993</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV012847486 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-23T15:14:07Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3932392183 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-008742993 |
| oclc_num | 76055505 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-29T |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-12 DE-29T |
| physical | 88 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1999 |
| publishDateSearch | 1999 |
| publishDateSort | 1999 |
| publisher | Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung |
| record_format | marc |
| series | Physik mikrostrukturierter Halbleiter |
| series2 | Physik mikrostrukturierter Halbleiter |
| spellingShingle | Klehn, Bernd Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop Physik mikrostrukturierter Halbleiter Rasterkraftmikroskop (DE-588)4333578-0 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd Nanostrukturiertes Material (DE-588)4342626-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4333578-0 (DE-588)4191584-7 (DE-588)4342626-8 |
| title | Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop |
| title_auth | Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop |
| title_exact_search | Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop |
| title_full | Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop Bernd Klehn. Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |
| title_fullStr | Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop Bernd Klehn. Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |
| title_full_unstemmed | Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop Bernd Klehn. Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |
| title_short | Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop |
| title_sort | nanolithographie mit dem rasterkraftmikroskop |
| topic | Rasterkraftmikroskop (DE-588)4333578-0 gnd Lithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4191584-7 gnd Nanostrukturiertes Material (DE-588)4342626-8 gnd |
| topic_facet | Rasterkraftmikroskop Lithografie Halbleitertechnologie Nanostrukturiertes Material |
| volume_link | (DE-604)BV011600531 |
| work_keys_str_mv | AT klehnbernd nanolithographiemitdemrasterkraftmikroskop |