PAR-CVD Entwicklung leistungsfähiger paralleler Berechnungsverfahren zur Untersuchung und Optimierung von CVD-Prozessen
Gespeichert in:
Format: | Buch |
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1999
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Berichte aus der Strömungstechnik
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Schlagworte: | |
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