Silicon micromachining
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Cambridge
Cambridge Univ. Press
1998
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| Ausgabe: | 1. publ. |
| Schriftenreihe: | Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering
7 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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