Nanostrukturierung von epitaktischen CoSi 2 - Si-Heterostrukturen mittels lokaler Oxidation
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1998
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| Beschreibung: | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1998. - Auch als: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3579 Weitere Ausgabe: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3579 |
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| Beschreibung: | III, 147 S. Ill., graph. Darst. |