Etching in microsystem technology

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Köhler, Michael (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English German
Veröffentlicht:	Weinheim [u.a.] Wiley-VCH 1999
Schlagworte:	Gravure par plasma Masques (électronique) Microlithographie Ätzen Mikrosystemtechnik
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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