Oberflächenstruktur dünner Sputterschichten mittels Rasterkraftmikroskopie, Röntgenreflektometrie und diffuser Röntgenstreuung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schug, Christoph (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Stuttgart Max-Planck-Institut für Metallforschung 1997
Schriftenreihe:	Max-Planck-Institut für Metallforschung <Stuttgart>: Bericht 54
Schlagworte:	Diffuse Streuung Dünne Schicht Rasterkraftmikroskopie Röntgenstreuung Oberflächenstruktur Röntgenstrukturanalyse Reflektometrie Sputtern Hochschulschrift
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