Environmental, safety, and health issues in ic production symposium held December 4 - 5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
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| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Pittsburgh, Pa.
Materials Research Soc.
1997
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| Schriftenreihe: | Materials Research Society: Materials Research Society symposia proceedings
447 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | IX, 154 S. Ill., graph. Darst. |
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| ISBN: | 1558993517 |