Radio frequency capacitive discharges

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Rajzer, Jurij P. (VerfasserIn), Sneider, Michail N. (VerfasserIn), Yatsenko, Nikolai A. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Russian
Veröffentlicht: Boca Raton, Fla. [u.a.] CRC Press 1995
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Beschreibung
Beschreibung:XII, 292 S.: graph. Darst.
ISBN:0849386446