Photochemical vapor deposition

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Eden, J. Gary (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	New York [u.a.] Wiley 1992
Schriftenreihe:	Chemical analysis 122
Schlagworte:	Photochemistry Thin films Vapor-plating CVD-Verfahren Fotochemische Reaktion
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