Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Berndt, Harald (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Clausthal-Zellerfeld Papierflieger 1996
Ausgabe:	1. Aufl.
Schlagworte:	Ausgangsmaterial Hartstoff Metallorganische Verbindungen PECVD-Verfahren Beschichtung Hochschulschrift
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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