Anwendung der Plasma-Randschichttheorie zur Modellierung von RF-Niederdruck-Gasentladungen und Reaktordesign Theorie und Experiment

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schwarz, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	1995
Schlagworte:	Hochfrequenzentladung - Niederdruckentladung - Plasma-Wand-Wechselwirkung - Berechnung Niederdruckentladung Berechnung Hochfrequenzentladung Plasma-Wand-Wechselwirkung Hochschulschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Stuttgart, Univ., Diss., 1995
Beschreibung:	106 S. Ill., graph. Darst.

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