Erstes Symposium Mikrosystemtechnik 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Format: | Tagungsbericht Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Regensburg
OTTI
[ca. 1991]
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Tags: |
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|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010637328 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 960228s1991 gw |||| 10||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)634638081 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010637328 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-898 | ||
| 111 | 2 | |a Symposium Mikrosystemtechnik |n 1 |d 1991 |c Regensburg |j Verfasser |0 (DE-588)5134090-2 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Erstes Symposium Mikrosystemtechnik |b 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg |
| 264 | 1 | |a Regensburg |b OTTI |c [ca. 1991] | |
| 300 | |a ca. 150 Bl. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)1071861417 |a Konferenzschrift |y 1991 |z Regensburg |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 710 | 2 | |a Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut |e Sonstige |0 (DE-588)814934-3 |4 oth | |
| 856 | 4 | 2 | |m GBV Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007096578&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007096578 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1819649394428870656 |
|---|---|
| adam_text | X ERSTES SYMPOSIUM MIKROSYSTEMTECHNIK UNIVERSITAETSBIBLIOTHEK HANNOVER
TECHNISCHE INFORMATIONSBIBLIOTHEK 21.-22. FEBRUAR 1991 FACHHOCHSCHULE
REGENSBURG UB/TIB HANNOVER 110 378 806 89 INHALTSVERZEICHNIS SEITE ZUM
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KOMPONENTEN DR. J. MOHR, KERNFORSCHUNGSZENTRUM, KARLSRUHE
ENTWICKLUNGSARBEITEN ZUR PRAKTISCHEN ANWENDUNG DER 39 LIGA-TECHNIK DR.
JOACHIM EICHER, MICRO-PARTS GMBH, KARLSRUHE METHODEN ZUR HERSTELLUNG
KONVEXER ECKEN BEIM ANISO- 51 TROPEN AETZEN VON (100)-SILICIUM IN
WAESSRIGER LOESUNG DR. HERMANN SANDMAIER, FRAUNHOFER-INSTITUT F.
FESTKOERPERTECHNOLOGIE, MUENCHEN ELEKTROHYDRODYNAMISCHE MIKROAKTOREN UND
SENSOREN 65 AXEL RICHTER, FRAUNHOFER-INSTITUT F. FESTKOERPERTECHNOLOGIE,
MUENCHEN EINFUEHRUNG IN DIE MIKROOPTIK 77 H. KARSTENSEN, SIEMENS AG,
MUENCHEN ANWENDUNG VON MIKROMECHANIK, MIKROOPTIK UND MIKRO- 81
VERBINDUNGSTECHNIKEN IN DER HALBLEITERINDUSTRIE DAR- GESTELLT AM
BEISPIEL VON OPTOELEKTRONISCHEN BAU- ELEMENTEN DR. RER. NAT. HANS L.
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SIEMENS AG, REGENSBURG SEITE MIKROELEKTRONISCHE KOMPONENTEN DER
MIKROSYSTEM- , 111 TECHNIK I THOMAS KOEHLER, VDI/VDE-TECHNOLOGIEZENTRUM
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LANGE/DR. RER. NAT. WOLFGANG KOCH, TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN
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ULTRAKUST ELECTRONIC GMBH, RUH- MANNSFELDEN AUFBAU UND
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POLYSILICIUM - EINKRISTALLINES SILICIUM G. RITTER, H. ERZGRAEBER, INST.
F. HALBLEITERPHYSIK, FRANKFURT/ODER KOMPAKTBAUGRUPPE, DIGITALES
HANDMESSGERAET 245 DR. F. GRUNERT, JENOPTIK CARL ZEISS JENA GMBH, JENA
CR/CU/CR- UND TI/CU/TI-LEITERBAHNEN 249 DR. SC. BAETHER, ZENTRALINSTITUT
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TECHNISCHE UNIVERSITAET, DRESDEN MONTAGETECHNOLOGIE STRUKTURIERTER
FLAECHENELEMENTE 263 DIPL.-ING. J. UHLEMANN, DIPL.-ING. TH. WETZIG,
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PHYSIKALISCHES-TECHNISCHES INSTITUT, JENA MIKROSYSTEMTECHNIK AN DER
FACHHOCHSCHULE REGENSBURG 269 PROF. DR. H. HUMMEL, FACHHOCHSCHULE
REGENSBURG LASERLITOGRAPHIE ALS VERFAHREN DER MIKROSYSTEMTECHNIK; 279
DER STUDIENSCHWERPUNKT MIKROSYSTEMTECHNIK PROF. DR. HELMUT HERBERG,
FACHBEREICH PHYS. TECHNIK, FACHHOCHSCHULE MUENCHEN ANHANG:
TECHNOLOGIETRANSFER-ANGEBOTE DES IFT AN DIE WIRTSCHAFT 283 IM BEREICH
DER MIKROSYSTEMTECHNIK
|
| any_adam_object | 1 |
| author_corporate | Symposium Mikrosystemtechnik Regensburg |
| author_corporate_role | aut |
| author_facet | Symposium Mikrosystemtechnik Regensburg |
| author_sort | Symposium Mikrosystemtechnik Regensburg |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010637328 |
| ctrlnum | (OCoLC)634638081 (DE-599)BVBBV010637328 |
| format | Conference Proceeding Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01333nam a2200325 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV010637328</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">960228s1991 gw |||| 10||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)634638081</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010637328</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-898</subfield></datafield><datafield tag="111" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Symposium Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="n">1</subfield><subfield code="d">1991</subfield><subfield code="c">Regensburg</subfield><subfield code="j">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)5134090-2</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Erstes Symposium Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="b">21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Regensburg</subfield><subfield code="b">OTTI</subfield><subfield code="c">[ca. 1991]</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ca. 150 Bl.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)1071861417</subfield><subfield code="a">Konferenzschrift</subfield><subfield code="y">1991</subfield><subfield code="z">Regensburg</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="710" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)814934-3</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007096578&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007096578</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)1071861417 Konferenzschrift 1991 Regensburg gnd-content |
| genre_facet | Konferenzschrift 1991 Regensburg |
| id | DE-604.BV010637328 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-12-23T14:06:04Z |
| institution | BVB |
| institution_GND | (DE-588)5134090-2 (DE-588)814934-3 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007096578 |
| oclc_num | 634638081 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-898 DE-BY-UBR |
| owner_facet | DE-898 DE-BY-UBR |
| physical | ca. 150 Bl. |
| publishDate | 1991 |
| publishDateSearch | 1991 |
| publishDateSort | 1991 |
| publisher | OTTI |
| record_format | marc |
| spellingShingle | Erstes Symposium Mikrosystemtechnik 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4221617-5 (DE-588)1071861417 |
| title | Erstes Symposium Mikrosystemtechnik 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg |
| title_auth | Erstes Symposium Mikrosystemtechnik 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg |
| title_exact_search | Erstes Symposium Mikrosystemtechnik 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg |
| title_full | Erstes Symposium Mikrosystemtechnik 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg |
| title_fullStr | Erstes Symposium Mikrosystemtechnik 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg |
| title_full_unstemmed | Erstes Symposium Mikrosystemtechnik 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg |
| title_short | Erstes Symposium Mikrosystemtechnik |
| title_sort | erstes symposium mikrosystemtechnik 21 22 februar 1991 fachhochschule regensburg |
| title_sub | 21. - 22. Februar 1991, Fachhochschule Regensburg |
| topic | Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| topic_facet | Mikrosystemtechnik Konferenzschrift 1991 Regensburg |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007096578&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT symposiummikrosystemtechnikregensburg erstessymposiummikrosystemtechnik2122februar1991fachhochschuleregensburg AT ostbayerischestechnologietransferinstitut erstessymposiummikrosystemtechnik2122februar1991fachhochschuleregensburg |