Mikromechanischer kapazitiver Differenzdrucksensor mit hoher Überlastfestigkeit in Silicium-Glas-Technologie

Aufbau piezoresistiver Niederdrucksensoren aus Silicium
von: Offereins, Henderikus Lammert
Veröffentlicht: (1994)

Untersuchung und Optimierung von Meßoszillatoren für kapazitive Sensoren
von: Parzhuber, Otto
Veröffentlicht: (1991)

Reichweiteverteilung hochenergetischer Ionen in Silicium
von: Jung, Won-Chae
Veröffentlicht: (1993)

Reichweiteverteilung hochenergetischer Ionen in Silicium
von: Jung, Won-Chae
Veröffentlicht: (1994)

Design und Realisierung eines kapazitiven Gassensorelementes mit integrierter Heizung für Betriebstemperaturen bis 450 ̊C
von: Scheibe, Christian
Veröffentlicht: (1995)

Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten
von: Obermeier, Ernst
Veröffentlicht: (1983)

Polysilizium-Dünnfilmwiderstände für Halbleiterdrucksensoren
von: Schäfer, Horst
Veröffentlicht: (1990)

Entwicklung eines kapazitiven Sensorsystems für Hochtemperaturanlagen
von: Dumbs, Alfred
Veröffentlicht: (1984)

Molekularstrahlepitaxie von Kupferindiumsulfid auf Silizium
von: Hunger, Ralf
Veröffentlicht: (1999)

Korrelative Durchfluß-Messung an Zweiphasen-Strömungen mit optischen und kapazitiven Sensoren
von: Füg, Michael
Veröffentlicht: (1990)

Uncertainty in measurement of piezoresistive sensors
von: Hoa, Phan Le Phuong
Veröffentlicht: (2005)

Ein neuartiges kapazitives Sensorverfahren zur absoluten Drehwinkelmessung
von: Walter, Thomas
Veröffentlicht: (1989)

Herstellung, Charakterisierung und Anwendung von Bleisalz-Infrarot-Diodenarrays auf Siliziumsubstraten
von: Masek, Jiri
Veröffentlicht: (1994)

Bau linearisierter kapazitiver Drucksensoren mit Auswerteschaltungen in Schalter-Kondensator-Technik
von: Benzel, Hubert
Veröffentlicht: (1995)

Integrierbare ionenempfindliche Sensorsysteme mit Langmuir-Blodgett-Membranen auf Silizium
von: Erbach, Rainer
Veröffentlicht: (1993)

Sonden und Messsystem für schnelle aerodynamische Strömungsmessung mit piezoresistiven Druckgebern
von: Gossweiler, Christoph R.
Veröffentlicht: (1993)

Kapazitive Sensorik mit schnellen LC-Oszillatoren
von: Graf, Rolf 1968-
Veröffentlicht: (2002)

Untersuchungen zum Wachstum von Bi, Mn und MnBi auf Si(111)-Oberflächen
von: Deffke, Uta 1972-
Veröffentlicht: (2003)

Untersuchungen zum Wachstum von Bi, Mn und MnBi auf Si(111)-Oberflächen
von: Deffke, Uta 1972-
Veröffentlicht: (2002)

Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung
von: Handtmann, Martin
Veröffentlicht: (2004)

LTCC-kompatible Sensorschichten und deren Applikation in LTCC-Drucksensoren
von: Partsch, Uwe
Veröffentlicht: (2002)

Quantitative Elementanalytik an Diamantschichten mittels elastischer Vorwärtsstreuung (ERD) hochenergetischer schwerer Ionen
von: Bergmaier, Andreas
Veröffentlicht: (2000)

Kraftkompensierte chemische Sensoren auf der Basis bisensitiver Hydrogele
von: Binder, Simon 1988-
Veröffentlicht: (2021)

Entwurf, Herstellung und Charakterisierung piezoresistiver oberflächen-mikromechanischer Drucksensoren
von: Lisec, Thomas
Veröffentlicht: (2001)

Piezoresistiver Silicium-Streß-Mikrosensor zur Spannungsanalyse
von: Krupka, Kay 1967-
Veröffentlicht: (1999)

Entwicklung und Modellierung eines Silizium-Mikrofons mit integrierter Signalverarbeitung
von: Brauer, Michael
Veröffentlicht: (2006)

Quasi-van der Waals-Epitaxie von GaSe auf Si und GaAs Struktur und elektronische Eigenschaften
von: Rudolph, Reiner
Veröffentlicht: (1999)

Quasi-van der Waals-Epitaxie von GaSe auf Si und GaAs Struktur und elektronische Eigenschaften
von: Rudolph, Reiner
Veröffentlicht: (1999)

Spektroskopische Ellipsometrie an III - V-Halbleiterstrukturen
von: Iber, Hartmut
Veröffentlicht: (1996)

Zur Berechnung verlustbehafteter Streifenleitungen auf geschichteten Substratmaterialien insbesondere auf Halbleitersubstraten
von: Schmid, Eberhard
Veröffentlicht: (1979)

Silicon-On-Insulator (SOI) Technology manufacture and applications
von: Kononchuk, Oleg
Veröffentlicht: (2014)

Zur Berechnung verlustbehafteter Streifenleitungen auf geschichteten Substratmaterialien, insbesondere auf Halbleitersubstraten
von: Schmid, Eberhard
Veröffentlicht: (1979)

Versetzungen in strukturierten Bleichalkogenidschichten auf Silizium
von: Müller, Peter 1965-
Veröffentlicht: (1997)

Ultra Low Power Capacitive Sensor Interfaces
Veröffentlicht: (2007)

Hydrogel-based piezoresistive pH sensors
von: Thong, Trinh Quang
Veröffentlicht: (2006)

Entwurf und Herstellung von Mikrosystemen auf Siliziumbasis für die mechanische Sensorik und chemische Analytik
von: Halstrup, Bernhard-Christoph
Veröffentlicht: (1994)