Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Vollmer, Josef (VerfasserIn), Hein, Herbert (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	Karlsruhe Kernforschungszentrum Inst. für Mikrostrukturtechnik 1994
Schriftenreihe:	Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK 5375
Schlagworte:	Elektrische Steuerung LIGA-Verfahren Fluidtechnik Hochschulschrift
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