An introduction to physics and technology of thin films

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Wagendristel, Alfred (VerfasserIn), Wang, Yuming (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Singapore u.a. World Scientific Publ. 1994
Schlagworte:	Thin film devices Thin films Dünne Schicht Halbleiterbauelement
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