Technologie zur Herstellung modulationsdotierter Feldeffekttransistoren (MODFETs) unter Verwendung der Elektronenstrahl-Lithographie

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hülsmann, Axel (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 1994
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