Untersuchungen von Defektstrukturen in getemperten Siliziumkristallen

Untersuchungen von Defektstrukturen in getemperten Siliziumkristallen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bouchard, Roland (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Mikrofilm Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	1993
Ausgabe:	[Mikrofiche-Ausg.]
Schlagworte:	Silicium Gitterbaufehler Wärmebehandlung Kristall Hochschulschrift
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