The reaction mechanism of W-CVD on Si
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
1993
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| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | Eindhoven, Technische Univ., Diss., 1993 |
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| Beschreibung: | VI, 106 S. Ill., graph. Darst. |