Proceedings September 25 - 27, 1991 ; Sunnyvale, California

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Photomask Technology Sunnyvale, Calif (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 1992
Schriftenreihe:Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers: Proceedings of the Society of Photo-optical Instrumentation Engineers 1604
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Beschreibung
Beschreibung:VII, 348 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:081940733X