Impurity doping processes in silicon

Bibliographische Detailangaben

Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. North-Holland Publ. Comp. 1981
Schriftenreihe:	Materials processing, theory and practices 2
Schlagworte:	Semiconductor doping Dotierung Silicium Aufsatzsammlung
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