Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1983
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 -
83,122 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009068684 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 940227s1983 xx ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)74628698 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009068684 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-210 | ||
| 100 | 1 | |a Asmussen, Frithjof |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie |c Frithjof Asmussen ; Hideto Sotobayashi* |
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1983 | |
| 300 | |a 59 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - |v 83,122 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Synchrotronstrahlung |0 (DE-588)4184235-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Polymere |0 (DE-588)4046699-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Polymere |0 (DE-588)4046699-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Synchrotronstrahlung |0 (DE-588)4184235-2 |D s |
| 689 | 1 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Sotobayashi, Hideto |d 1929-2011 |e Verfasser |0 (DE-588)110330889 |4 aut | |
| 810 | 2 | |a Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - |t Deutschland <Bundesrepublik> |v 83,122 |w (DE-604)BV000004400 |9 83,122 | |
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006006620 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1819236065761820672 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Asmussen, Frithjof Sotobayashi, Hideto 1929-2011 |
| author_GND | (DE-588)110330889 |
| author_facet | Asmussen, Frithjof Sotobayashi, Hideto 1929-2011 |
| author_role | aut aut |
| author_sort | Asmussen, Frithjof |
| author_variant | f a fa h s hs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009068684 |
| ctrlnum | (OCoLC)74628698 (DE-599)BVBBV009068684 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01689nam a2200385 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV009068684</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">940227s1983 xx ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74628698</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009068684</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Asmussen, Frithjof</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie</subfield><subfield code="c">Frithjof Asmussen ; Hideto Sotobayashi*</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1983</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">59 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 -</subfield><subfield code="v">83,122</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Synchrotronstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184235-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Polymere</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046699-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Polymere</subfield><subfield code="0">(DE-588)4046699-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Synchrotronstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184235-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Sotobayashi, Hideto</subfield><subfield code="d">1929-2011</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)110330889</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 -</subfield><subfield code="t">Deutschland <Bundesrepublik></subfield><subfield code="v">83,122</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">83,122</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006006620</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV009068684 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-23T12:58:31Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-006006620 |
| oclc_num | 74628698 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-210 |
| owner_facet | DE-210 |
| physical | 59 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1983 |
| publishDateSearch | 1983 |
| publishDateSort | 1983 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| series2 | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - |
| spelling | Asmussen, Frithjof Verfasser aut Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie Frithjof Asmussen ; Hideto Sotobayashi* Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1983 59 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - 83,122 Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd rswk-swf Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd rswk-swf Polymere (DE-588)4046699-1 gnd rswk-swf Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 s Polymere (DE-588)4046699-1 s DE-604 Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 s 1\p DE-604 Sotobayashi, Hideto 1929-2011 Verfasser (DE-588)110330889 aut Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 83,1 - Deutschland <Bundesrepublik> 83,122 (DE-604)BV000004400 83,122 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Asmussen, Frithjof Sotobayashi, Hideto 1929-2011 Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd Polymere (DE-588)4046699-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4178314-1 (DE-588)4184235-2 (DE-588)4046699-1 |
| title | Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie |
| title_auth | Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie |
| title_exact_search | Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie |
| title_full | Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie Frithjof Asmussen ; Hideto Sotobayashi* |
| title_fullStr | Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie Frithjof Asmussen ; Hideto Sotobayashi* |
| title_full_unstemmed | Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie Frithjof Asmussen ; Hideto Sotobayashi* |
| title_short | Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler Polymere für die Röntgenlithographie |
| title_sort | entwicklung und untersuchung empfindlicher und prozeßkompatibler polymere fur die rontgenlithographie |
| topic | Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd Polymere (DE-588)4046699-1 gnd |
| topic_facet | Röntgenlithografie Synchrotronstrahlung Polymere |
| volume_link | (DE-604)BV000004400 |
| work_keys_str_mv | AT asmussenfrithjof entwicklungunduntersuchungempfindlicherundprozeßkompatiblerpolymerefurdierontgenlithographie AT sotobayashihideto entwicklungunduntersuchungempfindlicherundprozeßkompatiblerpolymerefurdierontgenlithographie |