Kristallfehler in hochintegrierten Schaltkreisen aus Siliziumnitrid

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Kolbesen, Bernd O. (VerfasserIn), Mayer, Kurt R. (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1979
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 - 79,156
Schlagworte:	Gitterbaufehler MOS-Schaltung Integrierte Schaltung Siliciumnitrid
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