Kristallfehler in hochintegrierten Schaltkreisen aus Siliziumnitrid
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1979
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| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 -
79,156 |
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| Beschreibung: | 143 S. 76 Ill. u. graph. Darst. |
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