Mechanische Relaxationsmessungen an Al-Metallisierungsschichten

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Prieler, Martin (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Jülich 1993
Schriftenreihe:	Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des ... 2780
Schlagworte:	Aluminium Mechanische Relaxation Metallisieren Hochschulschrift
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