Untersuchung von Interdiffusion, elastischer Gitterverzerrung und Relaxation in epitaktischen Si(1-x)Ge(x)/Si-Heterostrukturen mit Ionenstreuung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Holländer, Bernhard (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	1991
Schriftenreihe:	Forschungszentrum <Jülich>: Berichte 2498
Schlagworte:	Germanium Heterostruktur Ionenstreuung Mischkristall Silicium Hochschulschrift
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