Sensoren Technologie und Anwendung ; Vorträge der ITG-Fachtagung vom 14. bis 16. März 1994 in Bad Nauheim
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin [u.a.]
vde-Verl.
1994
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| Schriftenreihe: | Informationstechnische Gesellschaft: ITG-Fachbericht
126 |
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Übersichtsvorträge
Composite
Sensors
and Actuators
.................................................................................... 15
R. E.
Newnham, K.
Markowski, Pennsylvania State University, USA
Verarbeitung multisensorieller Informationen mit
Fuzzy
-Techniken.......................... 25
Steffen Bocklisch, TU
Chemnitz-Zwickau
Signalverarbeitungsaspekte zur Lösung allgemeiner
wie anwendungsspezifischer Problemstellungen in der Mikrosystemtechnik............. 35
Hans-Rolf Tränkler, Rudolf Ulimann;
Universität der Bundeswehr München, Neubiberg
Das Potential der Mikrosystemtechnik in der Minimal-invasiven Chirurgie.............. 53
Wolf
gang Menz,
Jürgen Mohr, Claas Müller, Werner Karl Schomburg,
Burkard Büstgens, Kernforschungszentrum Karlsruhe
Entwicklungstrends in der Biosensorik........................................................................... 67
Thomas
Scheper,
Universität Münster
Laserspektroskopie in der Umweltmeßtechnik.............................................................. 79
Reinhard Nießner, Technische Universität München
S
1 Mikromechanische Sensoren
Ein in Silizium integrierter Sensorkopf
zur berührungslosen Erfassung von Drehmomenten..................................................... 103
P. Rombach, W. Langheinrich, Technische Hochschule Darmstadt
Ein neuer
Mikrosensor
zur
„in-situ ^Messung
der Wärmeleitfähigkeit dünner Schichten...................................................................... 109
F. Völklein, T. Stürz, U. Schmidt, Fachhochschule Wiesbaden, Rüsselsheim
Elektrostatisch aktivierter Mikrochopper für Strahlungsdetektoren.......................... 115
J, Lin,
V.
Schlichting, E. Obermeier, TU Berlin
Automatischer Abgleichalgorithmus
für integrierte CMOS-Drucksensoren mit on-chip Programmierung.......................... 121
V.
Schlichting, R.
Lossy,
N. Graf E. Obermeier, TU Berlin
D. Hammerschmidt, F.
V
Schmitz, B. J. Hosticka, FHG-IMS, Duisburg
S
2 Sensor-Signalverarbeitung
Mustererkennung basierend auf mittels neuronaler Netze
und evolutionärer Prozesse ausgewerteter Signale von Metalloxid-Gassensoren....... 129
Eric Chemiskv, Josef Gerblinger, Hans Meixner, Siemens AG, München
Kalibrierverfahren zur Störgrößen-Unterdrückung bei Meßgrößenaufnehmern 135
M. Seilen, Prof. H. Janocha, Universität des Saarlandes, Saarbrücken
Ein einfaches universelles Signalverarbeitungssystem für Sensoren 141
Rainer Höhler, Hans Strack, Technische Hochschule Darmstadt
Peter Hille, Daimler-Benz Forschungsinstitut AEG, Frankfurt
Sensitivität, Selektivität und Separabilität von Sensorsystemen................................... 147
Lothar Zipser, Hochschule Dresden
S
3 Sensor-Signalverarbeitung mit Fuzzy-Logik
Wissensbasierte Fehlerdiagnose mit Fuzzy-Logik.......................................................... 155
Rolf ¡sermann, Technische Hochschule Darmstadt
Fuzzy
Logic Support
to
Sensor
Based Autonomous
Systems........................................ 165
Marco
Poloni,
ELITE Foundation, Aachen
Sensorsignalaufbereitung mit Fuzzyelementen
zur Optimierung von Regelcharakteristiken.................................................................. 171
Wolfgang Babel, Endress und Hauser
Conducta
GmbH, Gedingen
Wulf Springhart, Endress und Hauser,
Consult,
Weil am Rhein
Intelligenter Luftultraschall-Präsenz- und Lagedetektor für Förderanlagen............. 177
M. Vossiek,
Р. С
Eccardt, S. Lechner, N. Kroemer,
V. Mágori,
Siemens AG, München
Drehzahlmessung von Verbrennungsmotoren
durch Körper- und Luftschallanalyse.............................................................................. 183
B. Huhnke, E. Birkle, D. Neumann, Technische Universität Braunschweig
S
4 Akustische und Ultraschallsensoren
Integriert-optisches Mikrofon mit Si,N4-Membran........................................................ 191
Uwe Schneider, Gisela Heß, Ralf Schellin, Technische Hochschule Darmstadt
Luftul
traschall-
A r
ray
s
für Anwendungen im Nahdistanzbereich................................ 197
Wolfgang Manthey, Technische Universität Chemnitz-Zwickau
Nils Kroemer, Siemens AG, München
Neues Mehrparameter-Ultraschallsensorsystem für Flüssigkeiten.............................. 203
Bernd Henning, Doris
Rosier,
Peter Hauptmann ,
Institut für Automation und Kommunikation e.
V.
Magdeburg, Barleben
Bernd Kupfernagel, RalfLucklum, Otto-von-Guericke Universität Magdeburg
Fehlerkorrigierende Ultraschallmessung der Sandkonzentration im Meerwasser..... 211
Jan
Schat,
Technische Universität
Braunschweig
Zur Messung von Werkstoffestigkeit mit einem Ultraschall-Härtesensor................... 217
A. Halim,
M.
Tietze,
A,
Wiese, Krautkrämer GmbH & Co., Hürth
S
5 Sensor-Mikrosysteme
Ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem
mit Temperaturkompensation und On-Chip gespeicherten Kalibrationsdaten.......... 223
D. Hammerschmidt, F.
V.
Schnalz, W. Brockherde, B. J. Hosticka,
FhG-IMS, Duisburg
V.
Schlichting, E. Obermeier, TU Berlin
Temperaturkompensation von Sensorsystemen durch CMOS-Schaltungen............... 229
D. Hammerschmidt, A. Sprotte, F.
V.
Schnatz, W. Brockherde, B. J. Hosticka,
H. G. Dura, H.
Dudaicevs,
W.
Mokwa, FhG-IMS, Duisburg
Monolithisches IR-Sensorsystem in Siliziumtechnologie............................................... 235
M. Müller, R. Jahne, W. Budde, R. Gottfried-Gottfried, H. Kück,
Fraunhofer-Institut, Dresden
Monolithische Photosensorsysteme.................................................................................. 237
R. Klinke, O. Machul, M. Schanz, Fraunhofer-Institut, Duisburg
W. Budde, R. Kauert, Fraunhofer-Institut, Dresden
Moderne Mikrosysteme für die
Dosimetrie
und den Strahlenschutz........................... 245
T. Streil, A. Erlebach, H. Kück, G. Zimmer, Fraunhofer-Institut, Dresden
R. Klinke, Fraunhofer-Institut, Duisburg
S
6 Optische Sensoren
Ein graustufenfähiges TFT-adressiertes
Array
von Lichtsensoren.............................. 253
D. Horst, E. Lüder, M. Habibi, T. Kalifaß, J. Siegordner, Universität Stuttgart
Optischer Spannungssensor
mit streckenneutraler optischer Signalübertragung...................................................... 259
P. Bauerschmidt, H. Bartelt,
R
Krümmer, Siemens AG, Erlangen
R. Lerch, Universität Linz, Österreich
Eindeutige Auswerteverfahren für einfache polarimetrische Sensoren....................... 265
Hartwig Senftleben, Holger Hirsch, Andreas Koch, Universität Dortmund
Sensoren in Lasersystemen für die Kontrolle und Steuerung mobiler Objekte.......... 271
Alexej Bulgakow,
TU Dresden
Konzept für einen optischen Sensor
zur prozeßgekoppelten Bestimmung der Rauheit technischer Oberflächen............... 277
Peter Lehmann, Jörg Peters, Armin Schöne, Universität Bremen
S
7
Technologie
und
Simulation
mikromechanischer Sensoren
Mikrostrukturierung mit porösem Silizium................................................................... 285
Peter Steiner, Walter Lang, Axel Richter, Hermann Sandmaier,
Fraunhofer-Institut, München
Bondfähige Silizium/Silizium-Verbindungstechnik........................................................ 291
H.-J. Gevatter, A. Schoth, TU Berlin
Piezoresistiver Silicium-Niederdrucksensor
mit oberflächenstrukturierter Membran........................................................................ 297
S. Hein, E. Obermeier, TU Berlin
Luftdämpfungseffekte an sich bewegenden
mikromechanischen Sensorstrukturen............................................................................ 305
M. Weinmann, F. Aßmus, H.-M. Reuther, M. Fischer, W. von
M
¿inch,
Universität Stuttgart
S
8 Mikrowellensensoren
A V-Band Monolithic GaAs Transferred
Electron
Oscillator
for Millimetre-Wave Sensors
............................................................................................ 313
A. L
Springer, C. G.
Diskus,
К.
Liibke,
H.
W.
Lettenmayr,
H.
W. Thim,
Universität Linz, Österreich
Integrierte Radar-Sensoren auf Silizium-Basis.............................................................. 317
Josef Buechler, Johann-Friedrich Luv, Eckart Sasse, Karl M. Strohm
Friedrich Schäffler, Daimler Benz Forschungszentrum, Ulm
Berührungslose Geschwindigkeitsmessung mit Mikrowellenradar
nach dem Speckleverfahren.............................................................................................. 323
Heike
Laqua,
Universität Karlsruhe
Radar-Sensoren für Geschwindigkeit und Weg über Grund,
sowie zur Erfassung der Länge von Zügen..................................................................... 329
M. Joppich, P. Heide, R. Schubert,
V. Mágori,
Siemens AG, München
S
9 Chemosensoren für Flüssigkeiten und Gase
Ionensensitive Feldeffekttransistoren -
Übersicht über Entwicklungsstand und
-trends
............................................................. 337
Stephan
Drost,
Fraunhofer-Institut, München
Peter Hein, Eckart Müller, Peter Woias, Sabine Koch, Leonhard Meixner,
Technische Universität München
Franz Aberl, Universität Regensburg
Optochemisches Analysesystem für die Umweltanalytik............................................... 343
J, Reichert, G. Heinzmann, J. Reinhardt, W.
Sellien,
H. J.
Ache,
Kernforschungszentrum Karlsruhe
Fluidik-ISFET-Mikrosystem............................................................................................. 349
M. T. Pham, S.
Howitz, Forschungszentrum Rossendorf
e. V.
T.
Hellfeld, Zentrum Mikroelektronik Dresden GmbH
J. Albrecht, Institut Fresenius für Angewandte Festkörperanalytik GmbH Dresden
Anwendung der Quarzmikrobalance in Flüssigkeiten................................................... 355
Jörg Auge, Peter Hauptmann ,
Institut für Automation und Kommunikation e.
V.
Magdeburg, Barleben
Jens Hartmann, Steffen
Rosier,
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Neue Festelektrolytsensoren
unter Ausnutzung katalytischer Elektrodeneigenschaften............................................ 361
Götz Reinhardt, Hans-Dieter Wiemhöfer, Wolfgang Göpel, Universität Tübingen
Ulrich Schönauer, Fa. Roth Technik Forschung, Gaggenau
S
10 Sensoren in der Fertigungs- und Prozeßmeßtechnik
Optische Geometrieerfassung in der Fertigung -
Möglichkeiten, Fehlerquellen und Kalibrierverfahren.................................................. 369
T. Pfeifer, P. Scharsich, Fraunhofer-Institut, Aachen
Einsatzmöglichkeiten von piezoresistiven polykristallinen
Siliziummeßelementen in Druckmeßgeräten der Prozeßmeßtechnik.......................... 375
Frank Löffler, Friedrich Schwabe, GRV* -Druckmeßtechnik Teltow GmbH
Thomas Uhlig, Zentrum Mikroelektronik Dresden
Roland Werthschiitzky, Fachhochschule Furtwangen
Speicher-Meßsystem für mehrkanalige Druck- und Temperaturmessung
unter hohen Umgebungsdrücken und Temperaturen.................................................... 381
Dieter Huhnke, Technische Universität Braunschweig
Kapazitiver keramischer Drucksensor hoher Stabilität
für die Prozeßmeßtechnik................................................................................................. 387
Ulfert Drewes, Petra Friedrich, Frank Hegner, Thomas Klähn,
Elke Schmidt, Endress + Hauser GmbH, Maulburg
Measurement of Dimensional Change of Grinding Wheel
by Laser Optical Displacement Sensor under Wet Grinding
-
Possibility of Aqueous Expansion of Vitrified Grinding Wheel
.................................... 393
Tadao Kagiwada, Takashi Matsuno,
Universität
Hokkaido, Sapporo, Japan
S
11
Chemosensoren
für Gase
New developments in test methods for gas sensor systems
............................................ 401
Hanns-Erik
Endres, Wolfgang
Göttler, Hildegard D.
Jander,
Stephan
Drost,
Fraunhofer-Institut, München
Giorgio Sbervelieri,
Universita
di
Brescia, Brescia,
Italien
Miniaturisierbarer Sauerstoffsensor mit Seltenerdmetalloxiden................................. 407
R. Blase, K. H. Härdtl, TH Karlsruhe
Polymere, Käfigstrukturen und Oxide für Sensorarrays
zur Mustererkennung in Gasen........................................................................................
Klaus Dieter Schierbaum, Markus Schweizer-Berberich; Udo Weimar,
Wolfgang Göpel, Universität Tübingen
Gas-Sensoren-Mikrosystem zur Detektion von umweltbelastenden
und umweltschädlichen Stoffen auf der Basis neuer Polymere..................................... 421
W. Kautek, S.-A. Jahnke1, Bundesanstalt
fur
Materialforschung und-prüfung, Berlin
C. Koßmehl, C. Pfeiffer, R. Bischoff, Freie Universität Berlin
Design und Realisierung einer direkt beheizten Gas-Sensor-Basisstruktur
für Temperaturen bis 450 °С............................................................................................ 427
C. Scheibe, E. Obermeier, TU Berlin
W. Maunz,
C. Plog,
Oornier
GmbH, Freidrichshafen
S
12 Magnetfeldsensoren
Magnetfeldsensorsystem in integrierter CMOS-Technologie........................................ 435
A. Sprotte, W. Brockherde, B. J. Hosticka, FhG-lMS, Duisburg
R. Buckhorst,
Manning
Electronic GmbH & Co., Duisburg
D. Bosch, Deutsche
Aerospace
AG, Ottobrunn
Fluxgate-Sensor in CMOS-kompatibler Planartechnologie.......................................... 441
Bodo Sauer, Thomas Haase, Ralf Gottfried-Gottfried,
Fraunhofer-Institut, Dresden
Monolithisches Magnetfeldsensorsystem mit
Spinning Current
Hallsensor
............... 447
R.
Gottfried-Gottfried,
W. Buddę,
Th.
Horning,
Fraunhofer-Institut, Dresden
Ein Verfahren zur Auswertung mikromechanischer Drehmomentsensoren
mit hallempfindlichen Sensorelementen.......................................................................... 451
D. Killat, W. Langheinrich, Technische Hochschule Darmstadt
Posterbeiträge
Optimierung von Rayleigii- und Lambwellen-Mikroresonatoren
als Basiselemente für Chemosensoren............................................................................. 459
K. Tipperer, E. Obermeier, TU Berlin
Ein Baukastensystem aus hybriden GasFET-Modulen.................................................. 465
T.
Doll,
В.
Flietner,
J.
Lechner,
M.
Uu,
L Eisele, Neubiberg
Freitragende
Mikrostrukturen
ais
kapazitiver Chemosensor....................................... 471
Johann Michael Köhler, Wolfgang Morgenroth,
Institut für Physikalische Hochtechnologie Jena
Doped
ß-Alumina
for use in a Practical Sulphur Dioxide Sensor
................................. 477
D. E.
Сое,
ABB Kent-Taylor Ltd, St. Neots, UK
Aufbau, zweidimensionale Simulation, Design und Messungen
an einem gassensitiven
Capacitive Contrôlée!
Feldeffekttransistor (CCFET)............. 483
Zenko Gergintschew, Peter Kornetzky, Dagmar Schipanski,
Technische Universität Ilmenau
Miniaturisierbarer Harnstoff-Biosensor in Langmuir-Blodgett-Technik.................... 489
F. Kauffmann, R. Erbach, B. Hoffmann, Universität Karlsruhe
H.-U. Siegmund,
MILES Inc.,
USA-Elkhart
L. Heiliger, Bayer AG, Leverkusen
M. Völker, Bayer AG, Krefeld
CMOS-kompatible Herstellung von dreidimensionalen Spulen
mit ferromagnetischem Kern auf einem Siliziumwafer................................................. 495
Th. Haase, B. Sauer, R. Gottfried-Gottfried, H. Kück,
Fraunhofer-Institut Dresden,
Microbeam-Beschleunigungssensor in Oberflächen-Mikromechanik......................... 501
J. Fricke, E. Obermeier, TU Berlin
Microtherm -
Ein Programm zur thermischen Modellierung von
Mikrostrukturen
......................... 507
Walter Kriegl, Peter Steiner, Walter Lang, Fraunhofer-Institut München
Simulation und Auswirkung umweltbedingter Geometriefehler
in kapazitiven mikromechanischen Beschleunigungssensoren..................................... 513
D. Killat, F. Schilling, W. Langheinrich, Technische Hochschule Darmstadt
Kapazitive akustische Hörschallsensoren
als Anwendungsbeispiele von
„Bulk-
und „Oberflächenmikromechanik ................ 519
Ralf Schellin, Gisela Hess, Wolfgang Kühnel, Christiane Thielemann,
Technische Hochschule Darmstadt
Gasdichte-Empfindlichkeit und Meßauflösung
vonPiezopolymer-Resonatorsensoren............................................................................. 525
A. Bartels, W. Halder, H. Müller, G. Lindner,
Steinbeis-Transferzentrum Anwenderorientierte Mikroelektronik, Weingarten
Meßfehler piezoresistiver Drucksensoren unter extremer Feuchtebelastung............. 531
Arne
Nakladal,
Karsten Sager, Gerald Gerlach, TU Dresden
Load
monitoring
of composite structures
using fiber-optic
interferometrie
strain gauges
............................................................... 537
Norbert
Fürstenau,
Walter Schmidt, Douglas D. Janzen,
Rainer Schütze,
Hans
С.
Goetting, Deutsche Forschungsanstalt für
Lufi-
und Raumfahrt,
Braunschweig
Laser-Entfernungskamera zur schnellen Abbildung
von 3-D Höhen- und Tiefenprofilen................................................................................. 543
С
Fröhlich, G. Schmidt, Technische Universität München
Eigenschaften moderner Biegeschwinger-Dichtesensoren............................................. 549
Hans Stabinger, Labor
får
Meßtechnik, Graz, Österreich
Klaus-Dieter Sommer, Heinz Fehlauer,
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig
Sensoren
mit Hochtemperatur-Dehnungsmeßstreifen
aus gesputterten Platin-Wolfram-Schichten mit „Sauerstoffdotierung ..................... 555
Dieter Huhnke, Technische Universität Braunschweig
Elektronische Kompensation des Ecklastfehlers bei Präzionswaagen......................... 557
Uwe Metzing, Technische Universität Braunschweig
Ein extrem kurzbauender Drehmomentauftiehmer hoher Genauigkeit...................... 563
Michael Quaß, Hottinger
Baldwin
Meßtechnik GmbH, Darmstadt
Mehr Sicherheit und Funktionalität im Baukran
durch neuartigen Dehnungssensor................................................................................... 569
Helmut Bäumel, Hottinger
Baldwin
Messtechnik GmbH, Darmstadt
Preisgünstige Schwingungssensorik zur Online-Überwachung von Wälzlagern........ 575
Prof. Dr.-Ing. A, Seeliger, B. Geropp, H.-W. Keßler, RWTH Aachen
Sensoren in der elektrischen Antriebstechnik................................................................ 581
Gunthart Mau,
ABB
Service GmbH, Heidelberg
Berührungslose Temperaturmessung
mit umgebungstemperaturkompensiertem Infrarot-Sensormodul.............................. 585
Jörg Schieferdecker, Reiner
Quad,
Mischa
Schulze,
HEIM ANN
Optoelectronics GmbH,
Wiesbaden
Effiziente suboptimale Algorithmen zur FMCW-Füllstandsmessung....,..................... 591
Johanngeorg Otto, Endress + Hauser, Maulburg
Ein dreidimensionaler Lasersensor
Mr
die Fertigungsautomatisierung...................... 597
Uwe Schönherr, Universität Erlangen-Nürnberg
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