Thermal vacuum sensors based on integrated silicon thermopiles = Thermische vacuum sensoren op basis van geintegreerde silicium thermozuilen

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Herwaarden, Alexander W. van (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	1987
Schlagworte:	Temperatursensor Hochschulschrift
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