Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1993
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV008334706 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20011218 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 931118s1993 xx ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 035 | |a (OCoLC)634367366 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV008334706 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-355 |a DE-29T |a DE-11 | ||
| 084 | |a PHY 658d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 293d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Schippel, Stefan |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung |c von Stefan Schippel |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 112 Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Jena, Univ., Diss., 1993 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Cobalt |0 (DE-588)4070047-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tempern |0 (DE-588)4184700-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Cobalt |0 (DE-588)4070047-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Tempern |0 (DE-588)4184700-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005505900 | |
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-TUM_call_number | 0001 DB 93 478 |
|---|---|
| DE-BY-TUM_katkey | 606744 |
| DE-BY-TUM_location | Mag |
| DE-BY-TUM_media_number | 040004880533 |
| _version_ | 1820860911253979136 |
| any_adam_object | |
| author | Schippel, Stefan |
| author_facet | Schippel, Stefan |
| author_role | aut |
| author_sort | Schippel, Stefan |
| author_variant | s s ss |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV008334706 |
| classification_tum | PHY 658d ELT 293d |
| ctrlnum | (OCoLC)634367366 (DE-599)BVBBV008334706 |
| discipline | Physik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01518nam a2200421 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV008334706</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20011218 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">931118s1993 xx ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)634367366</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV008334706</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 658d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 293d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schippel, Stefan</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung</subfield><subfield code="c">von Stefan Schippel</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">112 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jena, Univ., Diss., 1993</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cobalt</subfield><subfield code="0">(DE-588)4070047-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tempern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184700-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Cobalt</subfield><subfield code="0">(DE-588)4070047-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Tempern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184700-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005505900</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV008334706 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-23T12:44:22Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005505900 |
| oclc_num | 634367366 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-11 |
| physical | 112 Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spellingShingle | Schippel, Stefan Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung Cobalt (DE-588)4070047-1 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Tempern (DE-588)4184700-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4070047-1 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4027606-5 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4184700-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung |
| title_auth | Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung |
| title_exact_search | Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung |
| title_full | Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung von Stefan Schippel |
| title_fullStr | Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung von Stefan Schippel |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung von Stefan Schippel |
| title_short | Untersuchungen zur Formierung von Silizium-Kobaltdisilizid-Schichtsystemen durch Hochdosisionenimplantation und thermische Nachbehandlung |
| title_sort | untersuchungen zur formierung von silizium kobaltdisilizid schichtsystemen durch hochdosisionenimplantation und thermische nachbehandlung |
| topic | Cobalt (DE-588)4070047-1 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Tempern (DE-588)4184700-3 gnd |
| topic_facet | Cobalt Silicium Ionenimplantation Dünne Schicht Tempern Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT schippelstefan untersuchungenzurformierungvonsiliziumkobaltdisilizidschichtsystemendurchhochdosisionenimplantationundthermischenachbehandlung |